在芯片制造過(guò)程中，晶圓的搬運(yùn)/轉(zhuǎn)移是一個(gè)非常重要的過(guò)程。在加工過(guò)程中，硅片需要在生產(chǎn)線上的不同加工模塊之間進(jìn)行有效傳輸和定位。在超薄晶圓加工、晶圓清洗和之前的晶圓光刻工藝中，需要專業(yè)的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和其他設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，這種設(shè)備的大部分市場(chǎng)被美國(guó)一些公司和日本的公司占領(lǐng)。

　　近年來(lái)，國(guó)內(nèi)企業(yè)在硅片處理機(jī)器人方面也取得了突破。一些科技公司開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。該公司創(chuàng)始人，目前，該公司的產(chǎn)品已在國(guó)產(chǎn)晶圓磨床和拋光機(jī)上長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí)還與國(guó)內(nèi)一家半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)簽訂了定制開(kāi)發(fā)協(xié)議，完成了多臺(tái)樣機(jī)的全部設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)和試制。在通用晶圓處理機(jī)器人（單臂晶圓處理機(jī)器人、雙臂晶圓處理機(jī)器人）和預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品方面，我們與臺(tái)灣市場(chǎng)的代理商達(dá)成了合作。

　　去年的時(shí)候，一些科技公司根據(jù)市場(chǎng)的變化調(diào)整了方向。它戰(zhàn)略性地放棄了工業(yè)機(jī)器人的業(yè)務(wù)方向，專注于晶圓處理機(jī)器人的研發(fā)、銷(xiāo)售和營(yíng)銷(xiāo)。”他說(shuō)，“國(guó)際環(huán)境的變化使越來(lái)越多的芯片企業(yè)、設(shè)備制造商和制造企業(yè)開(kāi)始關(guān)注國(guó)產(chǎn)設(shè)備的使用。另一方面，芯片和光伏產(chǎn)業(yè)在過(guò)去兩年里發(fā)展迅速，我們也收到了許多定制化開(kāi)發(fā)晶圓處理機(jī)器人的訂單。這也使得美國(guó)認(rèn)為，專注于晶圓處理機(jī)器人開(kāi)發(fā)的決定是正確的?！?br/>

　　在產(chǎn)品方面，科技公司的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的核心競(jìng)爭(zhēng)力在于完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和高性能伺服系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化。晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的核心功能之一是通過(guò)精確的電氣控制實(shí)現(xiàn)高精度定位和高精度力控制，從而順利搬運(yùn)晶圓厚度不超過(guò)1mm的FER和硅片。伺服系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這些功能的重要組成部分。同時(shí)，由于伺服系統(tǒng)的獨(dú)立控制，科技公司的產(chǎn)品研發(fā)成本和周期也縮短了。